1 名前:動物園φ ★:2020/07/02(Thu) 17:46:14 ID:CAP_USER.net ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2020.07.02 16:38 日本の半導体素材企業の東京応化工業(TOK)が自国政府の輸出規制を避けフォトレジスト(感光液)を韓国で本格生産し始めた。フォトレジストは半導体ウエハーに光を当てて回路線を描く露光工程に先立ち塗る液体で、極端紫外線(EUV)用フォトレジストは日本政府が昨年7月から対韓輸出を規制した品目のひとつだ。 ◇日本政府の輸出規制避け仁川で量産 2日の半導体業界によると、TOKは仁川(インチ〇ン)の松島(ソンド)にあるサムスン物産との合弁法人のTOK先端材料でEUV用フォトレジストを生産している。TOKは安定したサプライチェーンを望むサムスン電子に向け韓国での生産を増やすという。TOKは日本政府の輸出規制以前にも自国から原材料を持ち込んで松島工場でフォトレジストの完成品を少量生産していたが、最近ではEUV用製品まで量産に入ったという。 現在サムスン電子は7ナノメートル(1ナノメートルは10億分の1メートル)以下のファウンドリー(半導体委託生産)工程でEUVを使っている。EUVは既に半導体露光工程に使われたフッ化アルゴン(ArF)と比べ光の波長が14分の1水準のためパターンをより細かく刻める長所がある。2月にはサムスン電子の李在鎔(イ・ジェヨン)副会長がEUVファウンドリー専用ラインを訪ねて現場点検に出た。サムスン電子はファウンドリーだけでなくDRAM半導体生産にもEUVを使いスケールメリットを得る計画だ。 ある半導体メーカー関係者は、「サムスン電子がシステム半導体とメモリー半導体全ともにEUV工程を選びフォトレジストが大量に必要になった。これに伴いTOKも大口顧客を失わないために韓国での生産の割合を高めている」と話した。TOKの決定には米デュポンが1月に「忠清南道天安(チュンチ〇ンナムド・チョナン)にEUV用フォトレジスト工場を作る」と発表したことも影響を与えたという。 ◇米デュポンも天安にEUV用フォトレジスト工場建設 日本政府の輸出規制直後だけでもサムスン電子はフォトレジスト調達に困難を経験した。フォトレジストはJSR、信越化学工業、TOKなど日本企業が得意な分野であるためだ。これによりサムスン電子は、日本企業のJSRとベルギーの研究センターIMECが2016年に設立した合弁法人からEUV用フォトレジストを空輸したりもした。 貿易協会によると、1~5月に韓国に輸入されたフォトレジストのうちベルギー製の割合は5.8%まで上昇した。前年同期の0.4%と比較して輸入額の規模も48万6000ドルから872万1000ドルに18倍に増えた。ベルギー製フォトレジストを輸入して日本製の割合は91.9%から88.6%に小幅低下した。 https://japanese.joins.com/JArticle/267693 引用元:http://awabi.2ch.sc/test/read.cgi/news4plus/1593679574 続きを読む 1 名前:動物園φ ★:2020/07/02(Thu) 17:46:14 ID:CAP_USER.net ⓒ 中央日報/中央日報日本語版2020.07.02 16:38 日本の半導体素材企業の東京応化工業(TOK)が自国政府の輸出規制を避けフォトレジスト(感光液)を韓国で本格生産し始めた。フォトレジストは半導体...http://rss.rash.jp/img/b_006.gif